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化学汽相沉积金刚石薄膜的生长

唐璧玉 , 靳九成 , 靳浩 , 颜永红 , 李绍绿 , 夏金童 , 陈小华 , 陈宗璋

材料研究学报

利用热丝化学汽相沉积法生长出优异的金刚石薄膜.研究表明,金刚石的成核依赖于沉积点的尖锐度,薄膜的生长包括晶粒长大和薄膜上的二次成核及其生长,可用分层生长来描述.金刚石晶粒的生长由外延生长和二次成核及其生长组成,也是分层进行的.结果导致了金刚石晶体和薄膜的层状结构.

关键词: 化学汽相沉积 , null , null , null

BJMOSFET 静态特性的解析模型及模拟分析

金湘亮 , 曾云 , 颜永红 , 成世明 , 龚磊 , 盛霞 , 樊卫

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.012

建立了新型半导体功率器件—双极型压控晶体管（ BJMOSFET）的直流解析模型，通过提取模 型参数，运用电路模拟软件 PSPICE的多瞬态分析法对 BJMOSFET的直流特性进行了模拟，分析得 出这种新型器件在相同结构参数和同等外界条件下与传统 MOSFET相比，电流密度提高 30％～ 40％。

关键词: BJMOSFET , 静态特性 , PSPICE , 模拟

等离子体处理三乙醇胺涂膜QCM传感器对乙醛的质量响应特性研究

黄敬良 , 颜永红 , 尹霞 , 唐学明 , 龚磊

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.008

等离子体处理是微电子技术加工中一种成熟的工艺方法,引入射频辉光放电产生的低温等离子体对三乙醇胺涂膜QCM（QuartzCrystalMicro－balance）传感器进行表面处理,使传感器的各项性能得以改善。该方法给QCM表面质量识别膜的修饰固定提供了新的思路。实验表明：处理后的传感器对乙醛有较好的选择性及较高的响应灵敏度。传感器的重现性与稳定性均佳，传感器较之涂膜处理前更易于再生且使用寿命大大增长。因而该传感器可用于气相中微量乙醛物质的探测，成本低，操作简单。本文对等离子体处理后性能改善的原因、传感器对有机物蒸汽的响应机理及传感器性能的影响因素等作了初步探讨。

关键词: 等离子体处理 , 三乙醇胺 , QCM质量传感器 , 乙醛

CVD金刚石薄膜表面的缺陷研究

周灵平 , 靳九成 , 李绍禄 , 颜永红 , 朱正华

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.005

用SEM方法观察分析了CVD金刚石薄膜表面的缺陷形貌和结构,直观的两种缺陷为孪晶和孔洞.孪晶反映了晶粒的不完整性,它的产生取决于气相中活性分子的浓度与生长表面活性位数目的比值,孪晶比率随碳源浓度升高和衬底温度的降低而增大;孔洞反映了膜的不致密性,其产生与膜生长速率和衬底表面初始成核密度切相关,孔洞密度随碳源浓度升高和衬底温度的升高而增大.

关键词: 金刚石薄膜 , 缺陷 , 化学气相沉积 , 孪晶 , 表面形貌

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