王梦慧
,
易叶帆
,
鲍恩成
,
饶项炜
,
李晓涵
,
刘劲松
,
李子全
机械工程材料
doi:10.11973/jxgccl201601012
采用磁控溅射技术制备了不同铜层厚度的 ZnS/Cu/ZnS 复合薄膜，并在不同温度(100~300℃)下对其进行退火处理，研究了铜层厚度和退火温度对复合薄膜物相、表面形貌、透光率和表面电阻等的影响.结果表明：随着铜层厚度增加，复合薄膜的表面粗糙度逐渐减小后趋于平缓，方块电阻逐渐下降；当铜层厚度为16 nm 时，复合薄膜的最高透光率最大为87％，方块电阻为62．5Ω；随着退火温度升高，复合薄膜中 ZnS 层结晶性增强，表面出现颗粒团簇；在100℃退火后，铜层厚度为16 nm 的复合薄膜的最高透光率为89％，方块电阻为46．3Ω.
关键词:
ZnS/Cu/ZnS 复合薄膜
,
退火温度
,
透光率
,
电阻
