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强电流直流伸展电弧法制备硬质合金微型工具的SiC过渡层和金刚石涂层

黑鸿君 , 李义锋 , 刘艳青 , 唐伟忠 , 马世杰

功能材料

采用强电流直流伸展电弧化学气相沉积(HCDCA CVD)技术在硬质合金微型工具表面沉积了SiC涂层作为过渡层,并在此基础之上制备了金刚石涂层.实验结果表明,采用HCDCA CVD技术在硬质合金表面制备的SiC纳米涂层连续、致密；此过渡层可有效地抑制硬质合金基体中Co的外向扩散,确保在不进行酸蚀去Co...

关键词: 强电流直流伸展弧化学气相沉积(HCDCA CVD) , SiC过渡层 , 金刚石涂层 , 微型工具