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林欢庆 , 卢文壮 , 左敦稳 , 徐锋 , 袁佳晶 , 马乐娟
人工晶体学报
本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Raman对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试.结果表明:优化后的流...
关键词: 铣刀 , CVD金刚石 , 涂层 , 三维流场