冯程程
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周明
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吴春霞
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马伟伟
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李刚
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蔡兰
人工晶体学报
本文利用化学气相沉积(CVD)法在镀有Au(10 nm)膜的单晶Si(100)上制备了ZnO薄膜,并研究了不同的氧分压对ZnO形貌的影响.借助扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对样品的形貌、结晶质量和晶体生长取向进行了表征.结果表明:当O2分压较小的时候,O2只能与...
关键词:
氧化锌
,
化学气相沉积法
,
氧分压
,
二次生长
马伟伟
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周明
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李刚
,
袁润
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冯程程
材料科学与工程学报
采用化学气相沉积法(CVD),在溅射了镍薄膜的硅基底上制备了定向碳纳米管薄膜.对镍薄膜的氨气预处理过程及其机理进行了研究.结果发现预处理后的岛状区域随着薄膜厚度的增加而增加,纳米粒子区域的变化则与之相反.对5nm的镍薄膜进行预处理能获得细化和均匀分布的纳米粒子,有利于定向碳纳米管的生长.碳纳米管的生...
关键词:
预处理
,
刻蚀
,
定向碳纳米管
,
化学气相沉积
李刚
,
周明
,
马伟伟
,
蔡兰
材料热处理学报
采用K575X高分辨率溅射仪在单晶硅衬底上制备镍纳米催化剂薄膜.研究了高温氨气刻蚀对镍催化剂由连续薄膜转变成纳米颗粒的影响.探讨了预处理时间、温度和催化剂薄膜原始厚度等工艺参数对镍薄膜微结构的影响,得到了镍催化剂薄膜的氨预处理规律,并初步分析了氨气对其形貌变化的影响机理.研究结果表明,获得均匀、细小...
关键词:
氨气刻蚀
,
溅射
,
纳米颗粒
,
硅衬底
