尚勇
,
董丽芳
,
马博琴
,
王志军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.035
本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV时,电子...
关键词:
金刚石薄膜
,
化学气相沉积
,
蒙特卡罗模拟
,
气相过程
,
甲烷浓度
