邵玉坤
,
韩舜
,
吕有明
,
曹培江
,
柳文军
,
曾玉祥
,
贾芳
,
朱德亮
,
马晓翠
人工晶体学报
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响.结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向；在沉积压强8.0Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向.当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向.
关键词:
ZnO
,
MgZnO
,
脉冲激光沉积
,
氧气流量
曹培江
,
赖国霞
,
柳文军
,
贾芳
,
朱德亮
,
马晓翠
,
吕有明
材料导报
使用脉冲激光沉积( PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力.结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85％；PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN.
关键词:
ZnO薄膜
,
脉冲激光沉积
,
附着力
龚晓钟
,
汤皎宁
,
马晓翠
,
刘剑洪
,
黄建军
,
柳文军
,
杨钦鹏
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.04.010
用沉淀-水解法制备的ZrO2纳米晶须,其平均尺寸为直径4nm,长10～20nm.其晶相由X射线衍射确认为单斜相,对其形状和大小进行了透射电镜和激光散射分析. ZrO2纳米晶须在水溶液中出现软团聚,团聚体平均尺寸约为90nm.纳米级ZrO2粒子对乙醇及丁烷有好的气敏性,比用直接水热法制备的敏感性能提高30%左右.
关键词:
ZrO2
,
激光散射
,
纳米晶须
,
气敏性能
