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氧化铝/氮化铝陶瓷显微组织研究

刘伟南 , 韩亚苓 , 刘玉微 , 马智欣 , 韩睿

硅酸盐通报

氮化铝具有良好的热学、电学和机械等性能,是理想的电子封装材料和高性能陶瓷基板材料.本文研究了AlN加入量和烧结温度对Al2O3/AlN复相陶瓷相组成和显微组织的影响.结果表明该陶瓷在1400～ 1550℃烧结时,AlN被部分保留,少量氧原子进入AlN晶格,烧结生成4种铅锌矿结构新相,有利于提高复相陶瓷热导率;氮化铝含量和烧结温度的提高,有利于形成大尺寸晶粒.

关键词: 氧化铝 , 氮化铝 , 新相 , 显微组织