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纳米结构的倾斜角度沉积及性能优化

马菱薇 , 周钦 , 张政军

材料科学与工艺 doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20160301

纳米材料发展的关键是纳米结构的制备、形貌调控和性能优化。倾斜角度沉积是以较大的角度（大于75°）倾斜入射沉积薄膜，通过控制沉积参数，得到具有特殊形貌纳米结构的方法，具有适用范围广，操作便捷，制备的薄膜面积大、纯度高、结构规整等特点，是一种理想的制备纳米材料的方法。本文介绍了采用倾斜角度沉积技术制备氧化铪抗反射薄膜和银基表面增强拉曼基底，详细分析了该方法的参数调控对纳米结构的形貌和性能的影响，并指出将倾斜角度沉积与其他先进技术相结合（以原子层沉积为例），可进一步优化纳米结构的性能，提高倾斜角度沉积的使用范围。

关键词: 倾斜角度沉积 , 纳米结构 , 抗反射膜 , 表面增强拉曼 , 原子层沉积