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双离子束溅射沉积Cu纳米薄膜表面的研究

张恒 , 马蒋 , 张莹 , 刘应开

材料导报

以(100)硅片为衬底,通过双离子束溅射生长不同厚度的Cu纳米薄膜.利用原子力显微镜及椭偏仪对样品进行分析和研究.结果表明:离子束在斜入射45°的条件下溅射,原子通量的峰值与法线夹角约为15.1°,膜厚度按照余弦五次方分布,并给出了法线两边对称分布薄膜的表面粗糙度变化公式.研究表明双离子束溅射制备的薄膜优于其他方法生长的薄膜,膜的表面平整度、厚度均匀性更好.

关键词: 双离子束沉积 , Cu纳米薄膜 , 膜厚分布 , 表面粗糙度

Mn掺杂二氧化锡纳米带的制备及光学性质的研究

马蒋 , 张恒 , 赵德荀 , 张莹 , 刘应开

材料导报

通过热蒸发法,以金为催化剂成功制备了Mn掺杂SnO2纳米带.并采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和X射线荧光光谱(XRF)表征了Mn掺杂纳米带的结构和性质.结果表明样品表面光滑、平整,结晶良好,结构单一.紫外-可见光吸收光谱测试表明Mn掺杂二氧化锡纳米带在紫外区有强的吸收,其带隙为3.4 eV,吸收带边波长变为364.7 nm,比二氧化锡的吸收边344 nm红移了约20 nm.光致发光光谱(PL)显示Mn掺杂SnO2纳米带在波长为550~750 nm范围发光谱线的强度高于纯净的纳米带.光致发光谱共有3个发光峰,分别位于585nm、626 nm和673 nm处.在673 nm处的发光峰主要由纳米带中的O原子空位引起;585nm及626nm处的发光峰源于纳米带中掺杂Mn的4T1 (4G)→6 A1 (6S)跃迁光发射.

关键词: Mn掺杂SnO2 , 热蒸发 , 紫外-可见光吸收 , 光致发光

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