马铁英
,
李铁
,
周萍
,
刘文平
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.014
本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究.实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加,样品的红外透射率下降;当退火温度达到700℃时,薄膜完全晶化;与此同时,电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度和退火温度的增加而减小.根据Lu的模型,对这些现象进行了解释并给出了制备和退火的优化条件.
关键词:
非晶硅
,
退火
,
红外
,
电阻温度系数
马铁英
,
刘焕林
,
陈刚
,
杨宇
功能材料
用电子束蒸发技术制备非晶硅薄膜,不同剂量Co离子注入后真空退火改性.X射线衍射法分析了样品的物相变化特征,发现Co离子注入可诱导非晶硅结晶,有一优化注入剂量5×1016ions/cm-2,使晶化Si(111)峰最强.还测量了非晶硅薄膜电阻率,揭示薄膜电阻温度系数随Co离子掺杂浓度和退火温度改变的规律;在退火温度500℃,离子注入量5×1015ions/cm-2条件下,获得TCR系数高达-2.5%的薄膜材料.
关键词:
a-Si∶Co薄膜
,
离子注入
,
电阻温度系数
