马锡英
,
袁保合
,
闫志军
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2008.03.024
为了能够快速且大面积生长碳纳米纤维,研究碳纳米纤维的形成、转变及在各种物理、化学环境下的反应机理,应用等离子化学气相沉积(PECVD)方法,以CH4为反应气体,FeCl4为催化剂在玻璃衬底上生长碳纳米薄膜.应用扫描电镜(SEM)观察了碳纳米纤维薄膜的表面形貌,拉曼(Raman)光谱分析了碳纳米纤维的...
关键词:
碳纳米团簇
,
碳纳米纤维
,
等离子体增强型
,
CVD
,
扫描电镜
,
拉曼