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硅基BiFe0.95Mn0.05O3/Pb(Zr0.4Ti0.6)03/BiFe0.95Mn0.05O3集成薄膜的结构及其铂电极电容器的性能

马闻良 , 刘保亭 , 王宽冒 , 边芳 , 李晓红 , 赵庆勋

机械工程材料

用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了BiFe0.95Mn0.05O3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/BiFe0.05O3(BFMO/PZT/BFMO)集成薄膜,采用X射线衍射仪分析了其物相结构;采用铁电测试仪考察了该集成薄膜与铂极构成的铁电电容器的性能.结果表明:该集...

关键词: 溶胶-凝胶法 , 掺锰铁酸铋 , 锆钛酸铅 , 漏电流 , 集成薄膜