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离子轰击碳膜形成碳尖端的研究

徐幸梓 , 王必本 , 高凤英 , 张力 , 曾丁丁

材料导报

用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si衬底上制备了碳尖端.利用原子力显微镜和显微Raman光谱仪对沉积的碳膜表征的结果表明碳膜是非晶碳膜,并且粗糙不平.用扫描电子显微镜对碳尖端表征的结果表明碳尖端的形貌与偏压电流有关,即随着偏压电流的增大,碳尖端的顶...

关键词: 碳尖端 , 等离子体 , 化学气相沉积 , 离子轰击