封顺珍
,
孙会元
,
于红云
,
高凤菊
,
贾连芝
功能材料
在室温下,用对靶磁控溅射法制备了系列类三明治结构C/Co/C颗粒膜.C靶和Co靶分别采用射频溅射和直流对靶溅射模式,并且随后进行了原位退火.用振动样品磁强计(VSM)和扫描探针显微镜(SPM)系统研究了C/Co/C颗粒膜的微结构和磁特性与磁性层厚度、非磁性层厚度、退火温度的关系.X射线衍射(XRD)...
关键词:
纳米颗粒膜
,
磁控溅射
,
矫顽力
,
剩磁比
,
原位退火
高凤菊
,
郑瑞廷
,
程国安
材料导报
能否成功制备自支撑薄膜不仅制约着激光和核物理研究的发展,而且限制了原子核化学试验的开展.自支撑薄膜的制备方法与普通薄膜的制备方法有很大的区别,经过近50年的发展,已经形成了一系列独特的制备方案.在成膜方面,其研究热点集中在如何降低薄膜内应力和提高材料的利用率上;同时各种可溶性衬底和脱膜剂对自支撑膜的...
关键词:
薄膜
,
自支撑
,
脱膜剂
