唐艳艳
,
高守宝
,
尚杰
,
张辉
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.06.008
利用脉冲激光沉积( PLD)技术,通过一系列实验成功地制备出了近外延生长的Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜.研究了衬底对Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜外延质量的影响.从摇摆曲线的半高宽(FWHM)及原子力显微镜(AFM)图谱中可以看出,在铝酸锶钽镧(LAST)衬底上生长的薄膜,外延质量明显比失配度更小的钛酸锶(STO)衬底上生长的要好,并不是传统认为的晶格失配度越小越好,分析其原因主要是因为小的失配不利于应力的释放造成的.
关键词:
衬底
,
Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜
,
脉冲激光沉积
,
外延生长
,
X射线衍射
,
原子力显微镜
