汪立文
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万蕴杰
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高岭
,
董建新
材料导报
CuAlO2 (CAO)透明薄膜是一种铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜,该型薄膜样品的可见先透射率高达80％.随着基片温度的升高,薄膜的透射率减小；随着工作压强和靶基距的增大,薄膜的透射率增大；随着退火温度的升高,薄膜的透射率增大,有“蓝移”现象；随着溅射时间的延长,薄膜的透射率减小,也有“蓝移”现象.目前,利用该薄膜已成功制得了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件,显示了CAO的应用前景.
关键词:
CAO薄膜
,
光学特性
,
透射率
方亮
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高岭
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董建新
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彭丽萍
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刘高斌
,
汪立文
材料导报
SrCu2O2(SCO)是一种新型可掺杂为p型导电的直接带隙透明氧化物半导体,其沉积温度低,基于pSrCu2O2和n-ZnO薄膜已经成功制备了异质结透明近紫外发光二极管,预示着其广阔的应用前景.对SCO薄膜的几种制备技术的特点进行了详细说明,结合"域匹配外延"的观点讨论了SCO在ZnO上的外延关系,并提出了SCO膜生长机理方面需要解决的问题.
关键词:
SrCu2O2
,
异质外延
,
域匹配
