徐驰
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殷明志
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高文娟
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彭焕英
材料科学与工程学报
以无机盐为原料,采用溶胶-凝胶工艺在Si衬底上制备La1-xSrxMnO3(LSMO)薄膜,XRD和TEM分析表明LSMO薄膜呈现纳米晶菱形钙钛矿结构,SEM分析表明LSMO薄膜表面平整、光滑致密。磁学测试结果表明:在0T、0.4T和0.8T时薄膜的Tp分别为220K、224K和229K,随着磁场的...
关键词:
溶胶-凝胶工艺
,
LSMO薄膜
,
磁阻
高文娟
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殷明志
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徐驰
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彭焕英
材料导报
以无机盐为原料,采用溶胶-凝胶法在Si衬底上制备了La1-xSrxMnOa (LSMO)薄膜.XRD和TEM测试表明LSMO薄膜呈现纳米多晶菱形钙钛矿结构,薄膜的(012)、(110)晶面间距分别为0.38nm、0.28nm.SEM分析表明LSMO薄膜表面平整、光滑致密.电学测试La1-xSrx M...
关键词:
溶胶-凝胶法
,
异质结
,
LSMO/Si电性能
,
p-n结
高文娟
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殷明志
,
徐驰
材料开发与应用
文章综述了锆钛酸铅(PZT)薄膜的主要制备方法,其中包括射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法和金属有机化学气相沉积法.讨论了不同工艺参数对于PZT薄膜的结构和性能的影响,并针对PZT薄膜出现的疲劳现象进行掺杂改性,探讨提高其抗疲劳性能的途径.
关键词:
PZT薄膜
,
制备方法
,
掺杂