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二氧化钒微测辐射热计的制备及工艺

王利霞 , 何秀丽 , 高晓光

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.04.002

针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18.1kV/W;探测率为1.37×108cmHz1/2/W;热时间常数为72.4ms.

关键词: 二氧化钒 , 微测辐射热计 , MEMS , 红外

PZT压电薄膜无阀微泵

高晓光 , 杜立群 , 吕岩

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.011

介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在对微豕制备工艺研究的基础上,对其性能进行了数值和实验研究.建立了基于扩张管/收缩管理论的无阀微泵的有限元模型.利用MFX-AN-SYS/CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析.对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算,得到了优化参数.数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较,验证了仿真的正确性.

关键词: 微泵 , PZT压电薄膜 , MFX-ANSYS/CFX , 流固耦合

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