王利霞
,
何秀丽
,
高晓光
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.04.002
针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18....
关键词:
二氧化钒
,
微测辐射热计
,
MEMS
,
红外
