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掺钨类金刚石膜离子渗硫后的微观结构与摩擦学性能

岳文 , 高晓成 , 王松 , 付志强 , 王成彪 , 刘家浚

材料热处理学报

探讨了掺钨类金刚石（W—DLC）膜沉积及离子渗硫两步合成DLC和WS2复合固体润滑膜的新方法。利用低温离子渗硫技术对4种钨含量的W—DLC膜进行离子渗硫处理，采用扫描电子显微镜（SEM）、俄歇扫描探针（SAM）、X射线光电子能谱（XPS）、拉曼光谱仪（Raman），纳米硬度计（Nano—indent...

关键词: 掺钨类金刚石 , 低温离子渗硫 , 固体润滑膜 , 摩擦学性能