刘洪祥
,
魏合林
,
刘艳红
,
刘祖黎
功能材料
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了SnO2薄膜.实验中通过改变磁镜场的磁镜比和磁场大小,研究了弱磁场对SnO2薄膜方块电阻及电阻分布的影响.实验结果表明,随着磁镜比和磁场强度的增加,SnO2薄膜的方块电阻在降低,且电阻分布变得比较均匀;但是,当磁镜比超过5.5时,SnO2薄膜的电阻分布变得越来越不均匀.
关键词:
PECVD
,
SnO2
,
薄膜
,
磁镜场
王豫
,
陈敏
,
羊新胜
,
魏合林
,
刘祖黎
,
姚凯伦
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.007
利用射频磁控溅射方法在石英玻璃基片上制备了 WO3薄膜,测量了薄膜的伏安特性和显微 结构.实验表明实验制备了颗粒小于 100nm的 WO3多晶膜,薄膜具有良好的非线性电学行为,其 非线性系数在 0.1 ～ 1mA的范围内可达到 10以上.简略讨论了 WO3薄膜的非线性电输运机理.
关键词:
三氧化钨
,
薄膜
,
非线性电阻特性
刘洪祥
,
魏合林
,
刘艳红
,
刘祖黎
功能材料
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了SnO2薄膜.实验中通过改变磁镜场的磁镜比和磁场大小,研究了弱磁场对SnO2薄膜方块电阻及电阻分布的影响.实验结果表明,随着磁镜比和磁场强度的增加,SnO2薄膜的方块电阻在降低,且电阻分布变得比较均匀;但是,当磁镜比超过5.5时,SnO2薄膜的电阻分布却变得越来越不均匀.
关键词:
PECVD
,
SnO2
,
薄膜
,
磁镜场
