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溶剂体系对c轴择优取向ZnO薄膜结构和光学性质的影响

郑春满 , 宋植彦 , 魏海博 , 帖楠

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.13.018

以无水乙醇、乙二醇甲醚、乙二醇甲醚/乙醇混合溶液(1∶1)为溶剂体系,采用溶胶-凝胶法制备了ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X射线衍射和反射光谱仪等研究了溶剂体系对薄膜组成、结构和光学性能的影响.结果表明,3种溶剂所制备的ZnO薄膜均为六方纤锌矿型结构,具有c轴择优取向;以乙二醇单甲醚/乙醇混合溶液(1∶1)为溶剂制备的ZnO薄膜平整、致密,在可见光区域透光率达到90%左右,禁带宽度为3.25eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值.

关键词: ZnO薄膜 , 溶剂体系 , 结构 , 光学性质 , 溶胶-凝胶

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