魏淑萍
,
王德苗
,
金浩
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.05.001
微波介质陶瓷谐振器在无线通信基站中有广泛的应用,其品质因数(Q值)主要由材料的介质损耗和金属膜的电导损耗所决定的,传统丝印烧结的金属化膜损耗较大,已成为限制谐振器Q值的主要因素.本文采用直流磁控溅射对相对介电常数为45的微波介质陶瓷进行金属化处理,研究了不同的清洗工艺和复合膜系对介质谐振器性能的影响...
关键词:
直流磁控溅射
,
介质谐振器
,
复合膜系
,
等离子清洗
,
Q值
