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在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜的方法及光学性能分析

周红 , 隋成华 , 陈乃波 , 许晓军 , 魏高尧 , 蔡萍根

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.001

介绍了利用电子束蒸发技术在蓝宝石光纤端面上生长具有良好的表面形貌和晶体结构的ZnO晶体薄膜的方法,并构建了一套具有较低插入损耗的光纤检测系统用于光学性能分析.透射光谱测试结果显示,蒸镀在蓝宝石光纤端面上的ZnO薄膜具有陡峭的光学吸收边,且经历400 ℃高温退火后,除可见光波段(400~450 am)透射率有一定的减小外,其在紫外波段(300~380 nm)的光学吸收边仍基本重合,表明在光纤端面上的ZnO晶体薄膜具有较好的温度稳定性,这为今后进一步利用ZnO薄膜光学吸收边随温度变化而移动的特性,研制以ZnO镀膜为敏感材料的新型光纤温度传感器打下良好的基础.

关键词: ZnO薄膜 , 蓝宝石光纤 , 光学吸收边 , 光纤温度传感器

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