付利刚
,
苏小平
,
余怀之
,
霍承松
,
宋睿丰
,
石红春
,
鲁泥藕
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.06.011
对化学气相沉积(CVD)ZnS经热等静压(HIP)处理前后在光学透过率等方面的改变进行了比较分析. 针对温度、原生样品厚度等因素对样品性能的影响做了详细阐述. 实验表明, 热等静压对原生CVDZnS光学性能有促进作用, 随处理温度的升高, 透过率在1010～1050℃之间出现峰值; 原生样品厚度的影响不容忽视, 导热均匀的薄样品晶粒均匀且尺寸较大, 光学及力学性能要好于厚样品.
关键词:
化学气相沉积ZnS(CVD)
,
热等静压(HIP)
,
透过率
石红春
,
朱时珍
,
鲁泥藕
,
霍承松
,
赵永田
,
杨海
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.05.032
CVDZnSe是目前光学性能最好的红外光学材料之一.但在制备CVDZnSe时, 尾气中未反应完全的剧毒硒化氢气体, 对操作人员及环境的危害很大.采用逆流填料塔来吸收CVD方法制备ZnSe系统中的剧毒尾气硒化氢.为加快传质速率, 提高吸收率, 选用NaOH溶液作吸收液;利用H2Se气体与此溶液反应, 降低气体在水溶液中的浓度, 加大传质推动力;选择了具有高效分离因子的填料以减小塔身的高度和直径.并且对循环吸收液进行氧化, 双重过滤等处理.最后用型号为TX-FMD的H2Se检测仪测量处理后的尾气中H2Se气体的含量, 达到排放要求.
关键词:
H2Se气体
,
逆流填料塔
,
化学吸收
,
传质
鲁泥藕
,
余怀之
,
霍承松
,
汪飞琴
,
石红春
功能材料
比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.
关键词:
窗口材料
,
透过率
,
ZnSe
,
化学气相沉积
汪飞琴
,
苏小平
,
鲁泥藕
功能材料
化学气相沉积(CVD)法可制备高纯度、近似元件形状、大面积的块体材料,与制备薄膜的CVD过程相比,该过程存在长时间沉积稳定性、厚度均匀性及光学质量均匀性等问题.本文采用简化装置对CVD工艺过程进行物理模拟,探讨不同工艺参数下沉积室内部气体流型的变化,分析流型对沉积过程的影响.
关键词:
化学气相沉积
,
体材料
,
稳定性
,
均匀性
,
流型
