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二甲基二氯化锡前驱体CVD制备SnO2∶F薄膜及其性能研究?

陈峰 , 张振华 , 赵会峰 , 鲍思权 , 姜宏

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.24.002

采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体，通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备 SnO2∶F透明导电薄膜，研究了DMTC、TFA和 H2 O的含量对薄膜结构及光电性能的影响，研究表明当 F/Sn 物质的量比为1∶1、H2 O/Sn物质的量比为3∶2时，制备出可见光透过率84.17%、方块电阻9.2Ω/□且结晶性能良好的多晶 SnO2薄膜。通过与单丁基三氯化锡(MBTC)为前驱体所制备薄膜的性能进行比较，结果表明，两种前驱体所制备薄膜均具有四方金红石结构，利用DMTC不仅可以制备出与 MBTC性能相近的薄膜，同时薄膜表面更加均匀。

关键词: 二甲基二氯化锡 , 化学气相沉积法 , SnO2∶F薄膜

反射红外及自清洁的多功能镀膜玻璃的制备

鲍思权 , 姜宏 , 赵会峰 , 张振华 , 王琦

硅酸盐通报

以钛酸异丙酯[Ti(OC4H7)4,TTIP]、单丁基三氯化锡[C4H9SnCl3,MBTC]及三氟乙酸[CF3COOH,TFA]作为反应前驱体,利用常压化学气相沉积法制备具有反射红外及自清洁功能的多功能TiO2/SnO2∶F复合膜镀膜玻璃.通过扫描电镜、X射线衍射及近红外光区反射光谱等技术手段对其进行分析,研究了反应物THIP的流量变化及SnO2∶F薄膜对TiO2薄膜性能的影响.结果表明:随着TTIP流量的增大,TiO2/SnO2∶F在高频近红外波段的反射率逐渐提高,但其光降解甲基橙的性能先提高后降低;SnO2∶F薄膜可以改善复合膜中TiO2的致密性,提高TiO2在近红外的反射率,同时TiO2/SnO2∶F复合膜可以有效延长电子-空穴对的复合时间,从而提高了TiO2薄膜的光降解性能.

关键词: 常压化学气相沉积法 , TiO2/SnO2∶F复合膜 , 反射红外 , 光降解

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