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Y₂O₃-SnO₂常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究

方国家 , 刘祖黎 , 吉向东 , 王汉忠 , 黄宜军 , 姚凯伦

无机材料学报

以无机盐ＳｎＣｌ_２·２Ｈ_２Ｏ，Ｙ（ＮＯ_３）_３·６Ｈ_２Ｏ为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了Ｙ_２Ｏ_３掺杂的ＳｎＯ_２薄膜．采用差热－失重分析研究了Ｙ_２Ｏ_３掺杂的ＳｎＯ_２干凝胶粉末的热分解、晶化过程．研究了Ｙ_２Ｏ_３－ＳｎＯ_２薄膜的电学和气敏性能．从实验中得到了Ｙ_２Ｏ_３掺杂份量对ＳｎＯ_２薄膜电学及气敏性能的影响．实验表明Ｙ_２Ｏ_３掺杂的ＳｎＯ_２薄膜在常温下对ＮＯ_ｘ具有较好的灵敏度和选择性，并具有较好的响应恢复性能；在常温下对Ｈ_２Ｓ气体也具有一定的灵敏度．

关键词: sol-gel工艺 , electrical and gas sensitive properties , sol-gel technique

Y2O3-SnO2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究

方国家 , 刘祖黎 , 吉向东 , 王汉忠 , 黄宜军 , 姚凯伦

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.01.011

以无机盐SnCl22H2O，Y(NO3)36H2O为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶-凝胶工艺制备了Y2O3掺杂的SnO2薄膜. 采用差热--失重分析研究了Y2O3掺杂的SnO2干凝胶粉末的热分解、晶化过程. 研究了Y2O3-SnO2薄膜的电学和气敏性能. 从实验中得到了Y2O3掺杂份量对SnO2薄膜电学及气敏性能的影响. 实验表明Y2O3掺杂的SnO2薄膜在常温下对NOx具有较好的灵敏度和选择性,并具有较好的响应恢复性能; 在常温下对H2S气体也具有一定的灵敏度.

关键词: sol-gel工艺 , Y2O3-SnO2薄膜 , 气敏及电学性能

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