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振动式微机械陀螺的电学模拟

黄小振 , 熊斌 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.014

根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟.利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性.利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计.

关键词: 微机械陀螺 , 等效电学模型 , 模拟