王梓旭
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尹长浩
,
董慧
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吴志勇
,
钟根香
,
黄新明
硅酸盐通报
多晶硅铸锭过程中,石英坩埚侧壁中的杂质通过固相扩散进入并残留在多晶硅锭的边部,形成多晶硅锭边部的低少子寿命区(边部红区).本文通过在坩埚侧壁上制作三种不同成分的高纯隔离层来阻挡坩埚侧壁中的杂质向硅锭中的扩散,以降低硅锭中的边部红区比例.结果表明采用掺钡高纯隔离层可以使硅锭中的边部红区显著变窄,基本消除硅方中的边部红区.
关键词:
高效多晶硅
,
隔离层
,
红区
苏杰
,
黄美玲
,
钟根香
,
黄新明
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.24.002
研究不同的掺锗浓度对硼掺杂P型多晶硅铸锭性能的影响.实验结果表明:掺锗能够影响多晶硅铸锭中的位错密度、间隙氧浓度和硅片的机械强度.当掺锗浓度低于5×1019 at·cm-3时,位错密度和间隙氧浓度随着掺锗浓度的增加而降低,机械强度则随着掺锗浓度的增加而增强.当铸锭中掺锗浓度为5×1019 at·cm-3时,与不掺锗的硅片相比,掺锗硅片中位错密度平均降低约3％,间隙氧浓度平均降低约6％,机械强度平均提高约20％.但是,当掺锗浓度高于1×1020 at·cm-3时,掺锗对多晶硅铸锭性能的改善效果变差了,并对其性能产生不利的影响.
关键词:
多晶硅
,
锗
,
位错
,
氧
,
机械强度
