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p-ZnO薄膜及其异质结的光电性质

朱慧群 , 李毅 , 丁瑞钦 , 王忆 , 黄洁芳 , 张锐华

人工晶体学报

采用射频磁控溅射法,在不同的Ar∶O2条件下,以高掺磷n型Si衬底为磷掺杂源制备了p型ZnO薄膜和p-ZnO/n-Si异质结.对ZnO∶P薄膜进行了光致发光谱(PL)、霍尔参数、Ⅰ-Ⅴ特性、扫描电镜(SEM)和X射线衍射谱(XRD)等测试.结果表明,获得的ZnO∶P薄膜沿(0002)晶面高取向生长,...

关键词: 磁控溅射 , p型ZnO薄膜 , 磷掺杂 , 异质结