黄红光
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郭钟宁
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王冠
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宋卿
腐蚀学报（英文）
通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时,工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响.蚀刻深度随掩膜间隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大,随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势.这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新,使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除.但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间,阻碍了蚀刻深度的增加.
关键词:
蚀刻深度
,
蚀刻压力
,
蚀刻间隙
宋卿
,
于兆勤
,
王冠
,
郭钟宁
,
黄红光
腐蚀学报（英文）
对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响.实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧向蚀除作用强,同时蚀刻液更新频率快,反应速率提高,侧蚀增大.在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸,控制加工时间和喷淋压力,可以较好地控制侧蚀,保证较高的加工尺寸精度.
关键词:
微细蚀刻
,
侧蚀
,
间隙尺寸
,
喷淋压力
黄红光
,
郭钟宁
,
王冠
腐蚀与防护
采用喷淋蚀刻工艺对738模具钢进行微细蚀刻加工,研究了蚀刻加工中掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量的影响.通过单因素方差分析对因素水平进行显著性检验,采用OriginPro 8.0拟合测蚀量与掩膜间隙、蚀刻温度关系的方程.结果表明,掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量有显著性影响;在30℃蚀刻时,侧蚀量随掩膜间隙的增大先快速增大后减小;在150 μm掩膜间隙下蚀刻,侧蚀量随蚀刻温度的增加而增加.
关键词:
738模具钢
,
掩膜间隙
,
蚀刻温度
,
侧蚀量
黄红光
,
郭钟宁
,
王冠
表面技术
目的 研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律.方法 设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证.结果 侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小.侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50 μm,蚀刻时间为2min.结论 加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度.验证性试验证明最优工艺方案可行.
关键词:
模具钢
,
微细蚀刻
,
侧蚀量
,
正交实验
