谢挺
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祝柏林
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杨玉婷
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张俊峰
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龙晓阳
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吴隽
人工晶体学报
利用Zn/ZnO复合靶材,通过射频磁控溅射技术,在衬底温度为150℃时分别在Ar+O2和Ar+H2的混合气氛中制备ZnO薄膜,通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见分光光度计研究了O2和H2流量对薄膜结构及透明导电性能的影响.结果发现,薄膜厚度随O2流量增加而明显增加而随H2流量增加...
关键词:
Zn/ZnO复合靶
,
反应溅射
,
气体流量
,
ZnO薄膜
,
结晶度
,
透明导电性
张俊峰
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吴隽
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龙晓阳
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祝柏林
,
李涛涛
,
姚亚刚
人工晶体学报
利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积ZnO-0.25mol% V2O5(ZnO∶V)薄膜,研究了O2/(O2+Ar)流量比(0%~87.5%)对ZnO∶V薄膜中缺陷的影响.研究结果表明:沉积的ZnO∶V薄膜为具有c轴取向的纤锌矿结构,V以五价和四价形式共存其中.ZnO∶V薄膜中的缺陷态为氧空位(VO...
关键词:
ZnO∶V薄膜
,
射频磁控溅射
,
掺氧量
,
缺陷态