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磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究

严少平 , 蒋百灵 , 苏阳 , 白力静 , 龙艳妮

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.11.009

在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理.研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能.结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降.

关键词: 磁控溅射 , Cr/C镀层 , 热处理 , 耐热性能

打底层对铝合金表面GLC镀层组织和摩擦学特性的影响

时惠英 , 龙艳妮 , 蒋百灵 , 陈迪春

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00748

采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面分别制备了以Cr和Al为打底层,Cr-C和Al-Cr-C为过渡层的Cr/Cr-C/类石墨碳(GLC)和Al/Al-Cr-C/GLC复合镀层,并与无打底层制备GLC镀层对比,系统研究了不同镀层微观结构、膜基结合力及摩擦学性能.结果表明,铝合金基体表面Cr打底层呈柱状晶生长,Cr/C过渡层无柱状晶特征,且随过渡层增厚,富Cr区域减少,实现了成分的梯度变化;A1打底层与铝合金基体间为一个整体,没有明显界面;Al-Cr-C过渡层的成分也呈梯度变化;采用不同打底层和过渡层时,GLC层均为非晶态结构,较无打底层制备GLC镀层,Cr/Cr-C/GLC和Al/Al-Cr-C/GLC复合镀层与铝合金基底间的膜基结合力显著增强,以Al为打底层的复合镀层的失效临界载荷最大.磨损实验中,在不同载荷条件下2种复合镀层均具有低的摩擦系数.

关键词: 非平衡磁控溅射离子镀 , GLC镀层 , 微观结构 , 结合力 , 摩擦学性能

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