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Cu含量对Zn1-xCuxO薄膜光学性能的影响

王存勇 , 周智涛 , 王峰 , 刘昌龙 , 龚万兵 , 吕建国 , 刘峰 , 黄凯

硅酸盐通报

采用溶胶-凝胶法制备CuxZn1-xO薄膜,用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪研究薄膜的微结构、表面形貌、透射谱和光致发光谱,结果表明:薄膜均呈六角纤锌矿结构,随着Cu含量增加,薄膜平均晶粒尺寸先增大后减小,表面RMS粗糙度先减小后增大,紫外吸收边发生蓝移,薄膜在可见光波...

关键词: Zn1-xCuxO薄膜 , 微结构 , AFM , 光致发光