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黎波 , 龚恒翔 , 孟祥杰 , 任维义 , 陈太红
人工晶体学报
以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.分析表明:制备的...
关键词: ZnO薄膜 , 超声雾化热解法 , 衬底温度 , 微观形貌 , 透过率
龚恒翔 , 阎志军 , 杨映虎 , 王印月
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.033
采用RF反应溅射法在Si(111)、玻璃衬底上制备了具有良好C轴取向的多晶ZnO薄膜.用XRD分析了沉积条件(衬底温度、工作气体中的氧与氩气压比和衬底种类)对样品结构的影响.发现(1)薄膜的取向性随着衬底温度的升高而增强,超过400℃后薄膜质量开始变差;(2)工作气体中氧与氩气压比(PO2/PAr)...
关键词: ZnO薄膜 , RF反应溅射 , 择优取向
