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化学溶液方法制备涂层导体Ce_xLa_1-xO₂薄膜的研究

赵跃 , 索红莉 , GRIVELJean-Claude , 叶帅 , 刘敏 , 马麟 , 周美玲

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.01201

获得多功能单一过渡层是简化涂层导体多层结构的主要课题之一. 采用化学溶液方法制备La掺杂CeO₂过渡层，研究La掺杂量对CeO₂薄膜表面形貌和双轴取向生长的影响. 结果表明La掺杂量为10mol％的薄膜表面平整致密，且能保持锐利的双轴织构. 通过多次涂敷工艺，获得具有120nm厚的Ce_0.9La_0.1O₂过渡层. 采用脉冲激光沉积方法在Ce_0.9La_0.1O₂/NiW结构模板层上沉积了YBCO超导薄膜，其起始临界转变温度达到90.5K. 这表明采用化学溶液方法制备Ce_0.9La_0.1O₂薄膜是一种有前景的简化涂层导体多层结构的方法.

关键词: 涂层导体 , chemical solution method , doped CeO₂ film , texture