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Effects of Annealing Temperature on the Properties of Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering

LIU Yiming , ZHANG Jianjun , ZHANG Wanggang , LIANG Wei , YU Bin , XUE Jinbo

武汉理工大学学报-材料科学版(英文版) doi:10.1007/s11595-015-1106-9

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