马胜利
,
徐健
,
介万奇
,
徐可为
,
M.G.J.Veprek--Heijman
,
S.Veprek
金属学报
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了硬质薄膜;考察了Al含量及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响. 结果表明,制备的薄膜由3---10 nm晶粒组成. 随Al含量增加, 薄膜硬度升高, x超过0.83时, 硬度开始急剧下降; 结构分析证实x小于0.83,
薄膜是固溶强化; x=0.83, 薄膜中出现六方氮化铝相(h--AlN). 热稳定性实验表明,薄膜
的纳米结构和硬度在N2环境下可以维持到900℃.
关键词:
(Ti
,
Al)N hard coating
,
microstructure
,
hardness
