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TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层的热稳定性能

朱丽慧 , 张雨萌 , 彭笑 , Peter Leicht , 刘一雄

材料研究学报

用中温化学气相沉积工艺制备TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层,用显微维氏硬度计测定TiCN和TiCNO涂层的硬度,用X射线衍射仪和激光拉曼光谱仪分析涂层的结构,研究了TiCN和TiCNO涂层在700℃真空退火后的组织结构转变对硬度的影响.结果表明:真空退火后TiC0.8...

关键词: 材料失效与保护 , TiCN涂层 , 热稳定性 , 相转变 , 硬度