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激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响

杨修春 , DUBIEL M , HOFMEISTER H , RIEHEMANN W , 黄文旻

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.026

利用X射线衍射,X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响.结果表明,Al2O3在ZrO2中的固溶度越大,ZrO2晶体结构无序度越大.样品室的空气压力越大,粉体中无定形相的含量越大.无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al).同...

关键词: 激光刻蚀 , Al2O3-ZrO2固溶度 , 结晶度 , 无序度

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