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激光刻蚀工艺对Al₂O₃-ZrO₂固溶度和结晶度的影响

杨修春 , DUBIELM , HOFMEISTERH , RIEHEMANNW , 黄文旻

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00677

利用X射线衍射, X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al₂O₃-ZrO₂固溶度和结晶度的影响. 结果表明, Al₂O₃在ZrO

关键词: 激光刻蚀 , Al2O3-ZrO2 solubility , crystallizability , disorder