朱宏喜
,
毛卫民
,
冯惠平
,
吕反修
,
VlasovII
,
RalchenkoVG
,
KhomichAV
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00570
采用X射线衍射技术、电子背散射衍射技术和扫描电镜分别观察了不同甲烷浓度条件下沉积的CVD自支撑金刚石薄膜的宏观织构、微区晶界分布和表面形貌. 研究了金刚石晶体{100}面和{111}面生长的晶体学过程. 研究表明, {100}面通过吸附活性基团CH22-, 而{111}面通过交替吸附活性基团CH3-...
关键词:
金刚石薄膜
,
texture
,
crystalgrowing
,
surface structure
