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A Silicon Micromachined Gyroscope Driven by the Rotating Carrier Self

Fuxue Zhang , Xu Mao , Yu Liu , Nan Zhang , Wei Zhang

稀有金属材料与工程

关键词:

The Research on Growth Temperature of Ge/Si Thin Films Grown by Magnetron Sputtering

Xu Mao , Yingxia Jin , Zhenlai Zhou , Yu Yang , Xinghui Wu , Fuxue Zhang

稀有金属材料与工程

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