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真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

李刘合 , 武咏琴 , 崔旭明 , 张海泉 , 张彦华 , 夏立芳 , 朱剑豪

金属学报

分别采用带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法, 在不同的镀膜电流以及不同基片偏流下制备了类金刚石碳膜, 对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光谱的特点. 对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰, 并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉...

关键词: Raman光谱 , diamond-like carbon film