杨艺榕
,
刘文平
,
王跃林
,
吴亚明
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.012
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.
关键词:
MEMS光开关
,
(110)硅各向异性腐蚀
,
深反应离子刻蚀
