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退火诱导MgZnO薄膜(220)晶向晶化性质的研究

李景 , 顾济华 , 钱波 , 蒋春萍 , 马仙梅

材料导报

采用激光脉冲沉积法(PLD)在石英玻璃上成功制备了一系列MgZnO薄膜.并通过选用高Mg含量的靶材,成功将薄膜的吸收边调节至极紫外区域(200～280nm),经计算MgZnO薄膜的带隙高达5.46eV.进一步研究这种高Mg含量的MgZnO薄膜的结构特性,对薄膜进行了热退火处理,并首次观察到依赖于退火温度变化的(220)取向衍射峰的变化.

关键词: MgZnO薄膜 , 禁带宽度 , (220)取向 , 退火温度