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(Ba,Sr)TiO3薄膜制备技术新进展

单志强 , 丁淑芳

金属功能材料

(Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜材料是目前国际上新型功能材料研究的热点之一,本文综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺,并简要介绍了BST目前的研究进展、微观结构、性能及应用,深入分析了BST铁电薄膜主要制备技术的优缺点,指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题.

关键词: (Ba,Sr)TiO , 铁电薄膜 , 制备方法