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医用316L不锈钢支架表面沉积(Fe/Pd)n薄膜的研究

胡涛 , 李争显 , 麻西群 , 周廉 , 介万奇 , 王海昌

稀有金属材料与工程

采用真空电弧离子镀技术,在医用316L不锈钢支架上沉积近等原子比的(Fe/Pd)n多层膜.用X射线衍射、扫描电镜、电子能谱研究(Fe/Pd)n多层膜的晶体结构、形貌和成分,分析相的转变.用CTCC-1数字磁通磁场测量仪测量样品的磁性.结果表明:医用316L不锈钢支架表面磁性膜的最佳结构为"Pd/Fe/Pd",经扩散热处理后,(Fe/Pd)n薄膜从fcc结构转变为fct结构,薄膜均匀、致密、结合强度良好,有效磁场强度可达5×10-4 T以上,有效磁性可维持6个月.

关键词: 316L不锈钢 , 磁性薄膜 , 电弧离子镀 , (Fe/Pd)n薄膜

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