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XPS研究N-Al共掺p型ZnO薄膜的传导特性

张子才 , 于威 , 张坤 , 滕晓云 , 傅广生

人工晶体学报

采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术,在α-Al2 O3衬底上制备了N-Al共掺ZnO薄膜样品.Hall测量表明室温下ZnAlO∶N薄膜为n型传导,在O2等离子体气氛中550℃退火后变为p型.p型ZnO薄膜的载流子浓度为2.1×1016 cm-3,霍尔迁移率为5 cm2/V·s.用X射线光电子能谱...

关键词: ZnO薄膜 , XPS , (N)o缺陷