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球形压痕法评价(Ti,Nb)N膜层断裂性能

高玉周 , 严立 , 王亮 , 张会臣

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2004.04.012

采用球形压痕试验,在高速钢基体上对电弧离子镀工艺沉积制备的(Ti,Nb)N膜层断裂性能进行评价.在600N载荷下,在压痕的周围只产生径向裂纹;统计分析压痕周围产生的裂纹,采用裂纹密度函数β,对膜层的断裂性能进行了分析.结果表明:(Ti,Nb)N均质膜层在显微硬度提高的同时,裂纹密度β增加,膜层的脆性增大,断裂韧度下降.TixNb1-xN梯度膜具有较高膜层显微硬度,仍然具有较好的断裂韧度,预渗氮处理的膜层裂纹密度较小,膜层的断裂韧度最好.采用裂纹密度函数β统计分析,通过对(Ti,Nb)N膜层压痕试验,可以很好的定量和半定量地比较膜层的断裂性能.

关键词: 压痕试验 , 断裂性能 , 裂纹密度函数 , (Ti,Nb)N

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